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| 中国电子工业部高纯水水质试行标准 |
| 发布时间：2012-10-14 21:23:41 阅读：2619次 |
化学指标单位：μg/L
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水质项目 |
一级高纯水指标 |
二级高纯水指标 |
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电阻率（25℃）MΩ·cm |
≥15 |
≥10 |
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电导率，μs/cm |
0.05 |
0.1 |
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PH值 |
6.8～7.2 |
6.6～7.4 |
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细菌总数，个/mL |
＜3 |
＜9 |
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微粒（直径＞0.5μm，粒/mL） |
＜150 |
＜300 |
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二氧化硅 |
＜10 |
＜20 |
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有机物（以COD计） |
＜0.3 |
＜0.5 |
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钠 Na |
＜0.5 |
＜2 |
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铁 Fe |
＜1 |
＜2 |
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铜 Cu |
＜0.5 |
＜1 |
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钙 Ca |
＜1 |
＜3 |
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镁 Mg |
＜0.2 |
＜1 |
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锰 Mn |
＜0.2 |
＜0.5 |
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锌 Zn |
＜0.5 |
＜1 |
说明：①一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。 ②二级高纯水适用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
③本表按1980年电子工业部标准摘录。 |
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